摘要

干式螺桿真空泵通過其創新的無油結構和先進的耐腐蝕設計，在處理腐蝕性氣體方面展現出顯著優勢。主要優勢包括耐腐蝕性、清潔無油的運行環境、顯著的節能效果（能耗降低30%以上）以及低維護成本。這些特性使其在半導體制造、制藥、化工等高要求行業成為替代傳統油封機械泵和液環泵的理想選擇，助力企業實現高效、環保的生產目標。

一、創新結構與耐腐蝕設計：應對苛刻工況的基石

干式螺桿真空泵的核心設計理念圍繞無油運行和耐腐蝕適配展開，這使其能夠從容應對腐蝕性氣體的苛刻挑戰。

無油干式運行：通過一對等速反向旋轉的螺桿轉子在泵腔內形成密閉腔體，實現氣體的連續吸入、壓縮和排出。整個過程無需任何工作液體或潤滑油，從根本上杜絕了油蒸氣污染工藝介質或產品的可能性，確保了真空環境的純凈度，并避免了因潤滑油與腐蝕性氣體接觸后乳化、變質所引發的故障。

材料與涂層技術：泵體和關鍵部件（如螺桿轉子、腔體）常采用不銹鋼（如304、316L）。更重要的是，其轉子表面會覆蓋特殊的防腐蝕涂層，例如PTFE（聚四氟乙烯）、PFA（全氟烷氧基烷烴）、鍍鎳或鎳磷涂層等。這些涂層能有效隔離腐蝕性介質與金屬基體，顯著增強泵體對抗酸、堿、有機溶劑等化學腐蝕的能力。

二、性能優勢：保障穩定、高效與清潔的生產

基于其設計，干式螺桿真空泵在處理腐蝕性氣體時表現出多方面的綜合性能優勢。

耐腐蝕性：不銹鋼材質與先進的涂層技術相結合，使其能夠耐受大多數腐蝕性介質（如Cl?、H?S等酸性氣體和有機溶劑）的侵蝕，適用性廣泛。

清潔無污染：100%無油的特性使其特別適用于半導體制造（如晶圓加工、鍍膜、刻蝕）、制藥（溶媒回收、真空干燥）和食品加工等對潔凈度有要求的領域，避免產品受到污染。

高效節能：變螺距螺桿設計可以優化壓縮過程，降低功率消耗，相比傳統真空泵可實現節能30%以上。同時，螺旋形冷卻水套設計提升了熱交換效率，有助于控制泵腔溫度，保護涂層并降低能耗。

三、廣泛應用：多行業苛刻腐蝕環境的解決方案

干式螺桿真空泵的耐腐蝕特性使其在眾多需要處理腐蝕性、可凝性氣體及含粉塵顆粒氣體的工業場景中成為核心裝備。

化工行業：用于尾氣回收、溶劑回收、蒸餾、精餾等工藝，避免油污染導致產品質量下降，并能處理復雜的腐蝕性氣體混合物。

制藥行業：在溶媒回收、真空干燥等環節，確保藥品的純度和生產環境符合嚴格的GMP要求。

四、選型、使用與維護：實現最佳耐蝕性能的實踐要點

為了充分發揮干式螺桿真空泵在腐蝕性氣體處理中的優勢，正確的選型、規范的操作和持續的維護至關重要。

精準選型匹配工況：

需根據處理氣體的具體成分（腐蝕性、可凝性）、濃度、溫度以及所需的極限真空度和抽速進行綜合考量。

針對不同的腐蝕介質，選擇材質和涂層組合（如標準PTFE涂層、加厚PFA、鍍鎳等）。

規范操作與智能監控：

控制進氣溫度（通常在15℃~60℃范圍內），超出時需采取冷卻措施。

確保冷卻水流量和溫度符合要求（如允許溫度32℃），防止泵過熱。

監控電機電流，電流異常可能是排氣壓力過高、冷卻不足或泵內物質堆積的信號。